智光電氣（002169）、飛凱材料（300398）、南大光電（300346）、藍英裝備（300293）、強力新材（300429）、容大感光（300576）、晶瑞股份（300655）、蘇大維格（300331）。
前四大光刻機上市公司相關(guān)介紹如下：
1、智光電氣（002169）
智光電氣主要從事電網(wǎng)安全與控制設(shè)備、電機控制與節(jié)能設(shè)備、供用電控制與自動化設(shè)備及電力信息化系統(tǒng)研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)和銷售。公司已建立了以測控技術(shù)、電力電子技術(shù)、通信技術(shù)和應(yīng)用軟件技術(shù)為基礎(chǔ)的核心技術(shù)平臺，形成了面向電氣控制與自動化前沿領(lǐng)域的產(chǎn)品布局。
2、飛凱材料（300398）
公司成立于2002年，總部和研發(fā)中心位于上海市寶山，在安徽省安慶市、廣東省惠州市、江蘇省南京市均建有大規(guī)模生產(chǎn)基地；并在杭州、蘇州、深圳、臺灣高雄，以及美國舊金山、亞特蘭大、日本、韓國首爾、印度班加羅爾等地設(shè)有辦事機構(gòu)或聯(lián)絡(luò)點，構(gòu)成了以上海為中心的國內(nèi)外銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。
3、南大光電（300346）
南大光電電子特氣產(chǎn)品已在LED行業(yè)取得主要的市場份額，并實現(xiàn)了在IC行業(yè)的快速替代進口，得到了廣大客戶的高度認(rèn)可，成為公司新的利潤增長點。
4、藍英裝備（300293）
蘭英裝備經(jīng)營專業(yè)機械和自動化電氣控制系統(tǒng)的設(shè)計、生產(chǎn)、安裝、調(diào)試、銷售及相關(guān)的科技信息咨詢服務(wù)。
