南大光電300346、容大感光300576、上海新陽300236、強(qiáng)力新材300429、江化微603078、光華科技002741、金龍機(jī)電300032、晶瑞股份300655、飛凱材料300398、廣信材料300537、怡達(dá)股份300721、寶通科技300031、西隴科學(xué)002584、同益股份300538、永太科技002326、捷捷微電300623、愛司凱300521、蘇大維格300331、芯源微688037。
以下是部分企業(yè)的詳細(xì)介紹：
1、南大光電
憑借30多年來的技術(shù)積累優(yōu)勢，公司先后攻克了國家863計(jì)劃MO源全系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化、國家“02—專項(xiàng)”高純電子氣體（砷烷、磷烷）研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、ALD/CVD前驅(qū)體產(chǎn)業(yè)化等多個(gè)困擾我國數(shù)十年的項(xiàng)目，填補(bǔ)了多項(xiàng)國內(nèi)空白。2017年，南大光電承擔(dān)了集成電路芯片制造用關(guān)鍵核心材料之一的193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。
2、容大感光
公司注重知識(shí)產(chǎn)權(quán)的培育和發(fā)展，至今已獲得的國家發(fā)明專利和已被受理的國家發(fā)明專利近20項(xiàng)。為了更好的利用強(qiáng)大的外部資源、提升自身的研發(fā)能力，公司十分注重與科研院所的產(chǎn)學(xué)研合作，在2008年與北京師范大學(xué)聯(lián)合成立了國內(nèi)首家“光刻材料聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室”。
3、上海新陽
公司已立項(xiàng)研發(fā)集成電路制造用高分辨率193nmArF光刻膠及配套材料與應(yīng)用技術(shù)，擁有完整自主可控知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端光刻膠產(chǎn)品與應(yīng)用即將形成公司的第三大核心技術(shù)，公司在國內(nèi)半導(dǎo)體功能性化學(xué)材料領(lǐng)域的領(lǐng)先地位將更加穩(wěn)固。
